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雙電測四探針測試儀/四探針測試儀/四探針檢測儀/雙電測四探針測定儀/雙電測四探針電阻率測試儀 型號：GSZ-RTS-9
采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電探針、電壓探針的變換，在計算機(jī)控制下行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。
是個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機(jī)與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。
測試程序控制四探針測試儀行測量并實(shí)時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析
測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； |
可測晶片厚度 | ≤3mm |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； |
恒源 | 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； |
四探針探頭基本標(biāo) | 間距：1±0.01mm； |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測量zui大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
計算機(jī)通訊接口 | 并口 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； |
當(dāng)前位置：